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砷化鎵單晶生長爐

砷化鎵單晶生長爐

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青島育豪微電子設備有限公司

山東

產品規格型號
參考報價：

面議

品牌：

育豪微電子

型號：

砷化鎵單晶生長爐

關注度：

290

產品介紹


設備性能指標

1

操作方式

手動

2

管路數

1管

3

加工晶圓尺寸

4-6寸

4

適用工藝

VGF/VB 工藝

5

控溫精度

±0.2℃/＞1280℃恒溫區內

6

控溫模式

Spike控溫+Profile串級控溫

7

控制系統結構

一體工控機+PLC

8

報警保護:

具有超溫報警，斷偶報警，氣體互鎖，氣體緩啟動等功能


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砷化鎵單晶生長爐

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