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儀器簡介：

技術參數：

德國CFP 激光共聚焦顯微鏡

測量行程Z: 1000 µm

測量距離 : 4 mm 可測量拋光鏡頭

測量頻率 : max. 1000 Hz 敏感及軟質材料

分辨率 Z : 20 nm 適于反光不同的點

分辨率X Y: 1 µm 低反射率快速測量

測量角度 : approx. 90°± 25°*1

測量光源 : semiconductor laser，

660 nm， class 2*2

主要特點：

可測量拋光光學鏡頭

測量敏感及軟質材料

適于反光率不同的反光點

低反射率的材料也可快速測量