專利電磁聚焦離子槍設計>超寬加速電壓范圍(可達10keV),拋光效率高>電壓范圍不高于100eV,修復后近乎無損>配備液氮冷臺(可持續制冷超過18小時),去除熱損傷>同時具備截面切割和平面">
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