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>1200加長雙溫區(qū)CVD系統(tǒng)

1200加長雙溫區(qū)CVD系統(tǒng)

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上海煜志科技有限公司(杭州嘉悅智能設(shè)備有限公司)

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產(chǎn)品介紹

簡介

1200℃加長雙溫區(qū)CVD系統(tǒng)是由加長雙溫區(qū)管式實驗電爐,多通道高精度質(zhì)量流量計混氣系統(tǒng),高真空分子泵系統(tǒng)等組成。可實現(xiàn)真空達0.001Pa混合氣體化學(xué)氣相沉積、擴散實驗。同時上海煜志良好的售后服務(wù),使得該產(chǎn)品的整體評價遠超同行業(yè)標準。

主要技術(shù)參數(shù)

爐體結(jié)構(gòu)

整機采用SUS304不銹鋼材質(zhì),流線型外觀,斷熱式結(jié)構(gòu)

日本技術(shù)真空吸附成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛,保溫性能好

雙層殼體結(jié)構(gòu),內(nèi)置風冷層,有效降低外殼表面溫度

爐蓋可開啟,可以實時觀察加熱的物料

電源

電壓:AC220V 50/60Hz;功率:8kW

爐管

高純石英管,高溫下化學(xué)穩(wěn)定性強,耐腐蝕,熱膨脹系數(shù)極小;

尺寸:Φ60/80/100*1200mm

法蘭及支撐

SUS304不銹鋼快速法蘭,通過用高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空

一個卡箍就能完成法蘭的連接,放、取物料方便快捷

可調(diào)節(jié)的法蘭支撐,平衡爐管的受力支撐

包含進氣、出氣、真空抽口針閥,KF密封圈及卡箍組合

加熱系統(tǒng)

加熱元件采用優(yōu)質(zhì)合金絲,表面負荷高、經(jīng)久耐用;

加熱區(qū)長度:350mm*2;

恒溫區(qū)長度:450mm;

工作溫度:≤1150℃;

**溫度:1200℃;

升溫速率:推薦≤10℃/min;

*快升溫速度30℃/min.

溫控系統(tǒng)

日本富士儀表,64段控溫程序,可分步、分段;

測溫元件:N型熱電偶; 控溫精度:±1℃

混氣系統(tǒng)

三路質(zhì)量流量計:數(shù)字顯示、氣體流量自動控制

內(nèi)置不銹鋼混氣箱,每路氣體管路均配有逆止閥

管路采用不銹鋼管,接口為Φ6卡套

每路氣體進氣管路配有不銹鋼針閥

通過控制面板上的旋鈕來調(diào)節(jié)氣體流量

流量規(guī)格:0~1SLM 流量精度:±1.5%

法蘭上預(yù)留一路浮子流量計,流量規(guī)格0.3-3L/min

真空系統(tǒng)

采用雙極旋片真空泵+分子泵,極限真空可達4.0*10-4Pa

復(fù)合真空計顯示,配置電阻規(guī)+電離規(guī)

抽速:110L/s,風冷式散熱結(jié)構(gòu)

配置真空角閥、波紋管、壓差式充氣閥

可選配件

冷水機,各種剛玉、石英坩堝,石英管,計算機控制軟件等

保修期

整機一年保修(相關(guān)耗材除外)

可根據(jù)客戶要求定制!

特色與優(yōu)勢

1.加長雙溫區(qū)爐體,大大加長了實驗區(qū)域的溫度均勻性;

2.開啟式爐蓋設(shè)置,降低沉積溫度、加快沉積速度;

3.日本富士溫控儀表,64段控溫程序,可分布,分段,三路質(zhì)量流量計,數(shù)字顯示精確控制氣體流量;

4.雙極旋片真空泵+分子泵,實現(xiàn)對真空度的不同要求,極限真空可達4.0*10-4Pa;

5.配置一路浮子流量計及三路高精度質(zhì)量流量計混氣系統(tǒng),可滿足不同氣氛下的實驗要求;

6.內(nèi)置S型熱電偶,可快速、實時監(jiān)測反應(yīng)物料的溫度變化情況;

7.尾氣活性炭過濾處理,減少反應(yīng)氣體排放對實驗室環(huán)境的影響。

產(chǎn)品咨詢

1200加長雙溫區(qū)CVD系統(tǒng)

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