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YAMATO雅馬拓潔凈厭氧高溫氣氛爐C1-008

直接聯(lián)系

柜谷科技發(fā)展(上海)有限公司

日本

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)
參考報(bào)價(jià):

面議

關(guān)注度:

589

產(chǎn)品介紹

用途:光刻工藝后段,光刻膠固化

特點(diǎn)

•**工作溫度360℃和600℃、潔凈度100級(jí)、氧濃度20ppm以下。

•程序運(yùn)轉(zhuǎn)功能,有自動(dòng)/手動(dòng)兩種操作模式。

•快速升溫、降溫,降溫時(shí)可采用空冷、空冷加水冷兩種方式。

•配置了自動(dòng)門(mén)鎖、數(shù)字式壓力表、數(shù)字式流量計(jì)等。

•全不銹鋼材質(zhì)。

•在安全方面,配置了自動(dòng)過(guò)升防止、過(guò)升防止器、氮?dú)鈮毫Ξ惓!⒌獨(dú)饬髁慨惓?、過(guò)電流漏電保護(hù)斷路器等安全裝置。

技術(shù)規(guī)格

型號(hào)

潔凈厭氧高溫氣氛爐 C1-008

溫度范圍

室溫+30360

室溫+50500

溫度分布精度

±4.0℃(at 360℃)

±8.0℃(a500℃)

溫度上升時(shí)間

60min(室溫→360℃)

90min(室溫→500℃)

溫度下降時(shí)間

90min360℃→50℃)

120min500℃→50℃)

氧濃度

20ppm以下

氧濃度下降時(shí)間

45分鐘

潔凈度

100級(jí)

裝備

氮?dú)鈱?dǎo)入裝置、水冷裝置、差壓計(jì)等

內(nèi)尺寸

W600×D600×H600mm

電源

3AC380V

產(chǎn)品咨詢

YAMATO雅馬拓潔凈厭氧高溫氣氛爐C1-008

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