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日本Nikon I線步進式光刻機NSR-I12

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日本Nikon I線步進式光刻機NSR-I12

技術指標及功能

廣泛應用于生產線，是6英寸，8英寸等主力I線生產機臺，適用于I線光刻膠的曝光，操作簡單，曝光精度準，解析力**可達0.35UM （350NM）

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