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YAMATO等離子清洗機PDC200

直接聯系

浚和(上海)儀器有限公司

日本

產品規格型號
參考報價:

面議

關注度:

732

產品介紹

小型桌上型高頻等離子表面處理裝置

■ 操作性·功能

● 射頻13.56Mhz 0-300W高功率機型,發生器自動匹配,無需調節反射波,進一步增加的操作的便捷性。

● 標準配備數字式皮拉尼傳感器,實時顯示真空度,使得控制更為精確。

● 平行平板腔體非常適合于實驗室處理比較純凈的晶圓、硅片等樣品,無需擔憂因為腔體材質的原因導致樣品受到污染。

■ 安全性·保護

● 裝載有溫度、壓力、等離子發生器異常等三層報警燈,可實時監測和了解機器的運轉狀態。

● 裝載有過電流漏電保護開關、自診斷回路、異常時蜂鳴器報警等安全功能。

■ 產品優勢

●等離子清洗機清洗效果好,清洗效率高,功率大,應用范圍廣。

●對清洗樣品,沒有任何材質、外觀尺寸等要求。

●等離子清洗過程中,溫升很小,基本可達到常溫處理。

●高效的特制電極,是產生均勻等離子體的保證。

●特制電極和托盤結構,可保證樣品可得到全面有效的清洗。

■ 規格

型號

PDC200

方式

RIE模式、平行平板腔體

性能

發生器功率:

0-300W

發生器頻率:

射頻RF13.56Mhz

發生器匹配方式:

自動匹配(Auto matching

構成

腔體材質:

鋁制

腔體內尺寸:

W400×D250×H150mm

反應氣體:

二路工藝氣體,可支持氧氣、氬氣、氮氣等非腐蝕性氣體。

控制方式:

全自動控制

真空度顯示:

數字式皮拉尼傳感器,實時顯示腔體內真空度。

配管材質:

SUS不銹鋼以及特氟龍

門:

鉸鏈門

外形尺寸:

W540×D600×H600mm

真空泵抽速:

4m3/hour

電源規格:

AC220V 10A

重量:

100kg

產品咨詢

YAMATO等離子清洗機PDC200

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