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高分辨率納米壓印模板

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上海納騰儀器有限公司

江蘇

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1259

產品介紹

儀器簡介:

采用**制造工藝,可把平面納米壓印拓展到任意曲面。標準模板分為三類:Quartz Molds, Silicon Molds, Polymer Molds of 2"、3"、4"。適用于Obducat,Suss,HP,EVG等多種型號的納米壓印設備。

技術參數:

Delivery of nanoimprint templates in various materials (Si, SiNx, SiC, quartz,glass).Maximum area of the templates:4 inch with feature size of 100 nm. For smaller area, minimum feature size of 50 nm.

提供各種材料的納米壓印模板(硅,氮化硅,碳化硅,石英玻璃)。模板**尺寸:4英寸,特征尺寸為100nm。對于更小的尺寸,*小的特征尺寸可以達到50nm。

Delivery of EBL service for various structures with the feature size down to 30nm.Substrates: any conducting or non-conducting wafers.

提供*低30nm特征尺寸的各種結構的電子束刻蝕服務。基板:任何導電或者非導電晶片。

Micro and nanofabrications for all kinds of nanostructures in a Si, III-V, II-VI and polymers.

各種納米結構(硅,III-V族元素,II-VI族元素以及聚合物)的微納米加工。

主要特點:

soft mold for thermal nanoimprint 熱壓印的軟模板

quartz mold for UV nanoimprint 紫外壓印的石英模板

silicon mold for thermal nanoimprint 熱壓印的硅模板

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