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便攜式光學(xué)膜厚儀

直接聯(lián)系

邁可諾技術(shù)有限公司

希臘

產(chǎn)品規(guī)格型號
參考報(bào)價(jià):

面議

關(guān)注度:

908

產(chǎn)品介紹

FR-portable 便攜式膜厚儀主要由以下系統(tǒng)組成:

Α白熾-LED混合集成式光源系統(tǒng),通過內(nèi)嵌式微處理器控制,使用壽命超過20000小時(shí)。

小型光譜儀,光譜范圍370nm –1050nm,分辨精度可達(dá)3648像素, 16位級 A/D 分辨精度;配有USB通訊接口;

Β) FR-Monitor膜厚測試軟件系統(tǒng),

可精確計(jì)算如下參數(shù):

1)單一或堆積膜層的厚度;

2)靜態(tài)或動(dòng)態(tài)模式下,單一膜層的折射率;本軟件包含了類型豐富的材料折射率數(shù)據(jù)庫,可以有效地協(xié)助用戶進(jìn)行線下或者在線測試分析。本系統(tǒng)可支持吸收率,透射率和反射率的測量,還提供任何堆積膜層的理論性反射光譜,一次使用授權(quán),即可安裝在任何其他電腦上作膜厚測試后的結(jié)果分析使用。

C) 參考樣片:

a) 經(jīng)校準(zhǔn)過的反射標(biāo)準(zhǔn)硅片;

b) 經(jīng)校準(zhǔn)過的帶有SiO2/Si 特征區(qū)域的樣片;

c) 經(jīng)校準(zhǔn)過的帶有Si3N4/SiO2/Si特征區(qū)域的樣片;

D) 反射探針臺(tái)和樣片夾具

可處理的樣品尺寸達(dá)200mm, 包含不規(guī)則的尺寸等;

手動(dòng)調(diào)節(jié)可測量高度可達(dá)50mm

可針對更大尺寸訂制樣片夾具;

Ε) 反射率測量的光學(xué)探針

內(nèi)嵌系統(tǒng)6透射光探針200μm, 1組反射光探針200μm;

產(chǎn)品咨詢

便攜式光學(xué)膜厚儀

邁可諾技術(shù)有限公司

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