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Rtec-共聚焦三維表面輪廓儀

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艾泰克儀器科技(南京)有限公司

美國

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產品介紹

特點

共聚焦三維表面輪廓儀具有光學形貌上超高的橫向分辨率,附有5百萬自動分辨率的CCD相機, 空間下樣可調至0.05um,是表面特征以及形貌的測量的理想配置。

技術參數

項 目 簡 述參數說明
共聚焦三維表面輪廓儀

l可快速垂直掃描的旋轉盤共焦技術

l具有光學形貌上超高的橫向分辨率,附有5百萬自動分辨率的CCD相機, 空間下樣可調至0.05um,是表面特征以及形貌的測量的理想配置

l在測量表面粗糙度/表面反射率上無限制

l應用于透明層/薄膜

l兼容亮視野&暗視野; 光學DIC

l長距離遠攝鏡頭是用以測量高縱橫比以及坡度特性的理想之選

l高穩定性

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Rtec-共聚焦三維表面輪廓儀

艾泰克儀器科技(南京)有限公司

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