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MicroXAM-800 光學輪廓儀

MicroXAM-800是一款基于白光干涉儀的光學輪廓儀，采用相位掃描干涉技術（PSI）對納米級特征進行測量，以及采用垂直掃描干涉技術（VSI）對亞微米至毫米級特征進行測量。 MicroXAM-800的程序設置簡單靈活，可以進行單次掃描或多點自動測量，適用于研發(fā)和生產(chǎn)環(huán)境。

產(chǎn)品描述

MicroXAM-800光學輪廓儀是一種非接觸式3D表面形貌測量系統(tǒng)。MicroXAM的白光干涉儀可以埃級分辨率對表面進行高分辨率測量。 該系統(tǒng)支持相位和垂直掃描干涉測量，兩者都是傳統(tǒng)的相干掃描干涉技術（CSI）。MicroXAM進一步擴展了這些技術，它采用SMART Acquire為新手用戶簡化了程序設置，并且采用z-stitching干涉技術可以對大臺階高度進行高速測量。

MicroXAM測量技術的優(yōu)勢在于測量的垂直分辨率與物鏡的數(shù)值孔徑無關，因而能夠在大視野范圍內(nèi)進行高分辨率測量。測量區(qū)域可以通過將多個視場拼接為同一個測量結果而進一步增加。 MicroXAM的用戶界面創(chuàng)新而簡單，適用于從研發(fā)到生產(chǎn)的各種工作環(huán)境。

主要功能

l針對納米級到毫米級特征的相位和垂直掃描干涉測量

lSMART Acquire簡化了采集模式并采用已知zui佳的程序設置的測量范圍輸入

lZ-stitching干涉技術采集模式，可用于單次掃描以及編譯多個縱向(z)距離很大的表面

lXY-stitching可以將大于單個視野的連續(xù)樣本區(qū)域拼接成單次掃描

l使用腳本簡化復雜測量和工作流程分析的創(chuàng)建，實現(xiàn)了測量位置、調(diào)平、過濾和參數(shù)計算的靈活性

l利用已知zui佳技術，從其他探針和光學輪廓儀轉(zhuǎn)移算法

主要應用

l臺階高度：納米級到毫米級的3D臺階高度

l紋理：3D粗糙度和波紋度

l形式：3D翹曲和形狀

l邊緣滾降：3D邊緣輪廓測量

l缺陷復檢：3D缺陷表面形貌