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光源: 白光LED

系統(tǒng)組件

深層定位: 電動可調(diào)節(jié)到200 mm

X-Y定位: 圓柱直徑為電動調(diào)節(jié)

可從70 mm調(diào)到155 mm

系統(tǒng)轉(zhuǎn)動: 可手動旋轉(zhuǎn)

Z-測量系統(tǒng): WLI/壓電式底座的測量范圍為100um

測量轉(zhuǎn)接器: 用于安裝在氣缸上的轉(zhuǎn)接器

滾動箱 : 記錄所有系統(tǒng)組件，包括工業(yè)PC對儀器的控制

評估: MountainsMap影像地形

鏡頭選項(xiàng)

放大倍數(shù) 10x 20x 50x

在平方微米的測量領(lǐng)域 1290x965 645x480 258x190

NA 0，3 0，4 0，55

z方向分辨率 <5 nm <5 <5 nm

XY方向分辨率 1，9 µm 1，0 µm 0，7 µm

選項(xiàng)

Cylanalyse 圓柱表面的分析評價(jià)