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全自動臺階儀

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北京維泰凱信新技術有限公司

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產品介紹

臺階儀,

NanoMap-LS 接觸式三維表面臺階儀

NanoMap-LS 探針接觸式 臺階儀

特點

探針臺階儀是利用探針掃描樣品表面,儀器記錄探針隨樣品表面高低起伏狀態,整合數據得到臺階高度,表面形貌,溝槽深度等特征。

雙模式操作(針尖掃描和樣品臺掃描)

針尖掃描采用精確的壓電陶瓷驅動掃描模式,

三維掃描范圍從150mm X 150m

樣品臺掃描掃描范圍到100mm

納米級拋光光學參考平晶

實時彩色光學照相機直接觀測

雙光學傳感器 縱向測量范圍**至1000um,*小到分辨率0.1nm

恒定微力接觸 *小0.03mg

簡單友好的人機操作界面

應用

臺階儀主要應用在金屬材料、生物材料、聚合物材料、陶瓷材料等各種材料表面的薄膜厚度,臺階高度,二維粗糙度(Ra,Rq,Rmax...),三維粗糙度(Sa,Sq,Smax),劃痕截面面積,劃痕體積,磨損面積,磨損體積,磨損深度,薄膜應力(曲定量率半徑法)等定量測量。擺脫了以往只能得到二維信息,或三維信息過于粗糙的現狀。

三維表面輪廓測量和粗糙度測量,即適用于精密拋光的光學表面也可適用于質地粗糙的機加工零件。

薄膜和厚膜的臺階高度測量

劃痕形貌,磨損深度、寬度和體積定量測量

空間分析和表面紋理表征

平面度和曲率測量

二維薄膜應力測量

微電子表面分析和MEMS表征

表面質量和缺陷檢測

環境要求

濕度:10-80%, 相對濕度,無冷凝

溫度:65-85 華氏度(△T<1度/小時)

電源要求:110/240V,50/60 Hz

keyword:臺階儀、形貌儀、磨損體積測量儀、臺階儀、薄膜測厚儀、三維表面臺階儀、三維臺階儀、白光干涉儀、三維臺階儀、三維薄膜分析儀、三維形貌儀、三維粗糙度儀、表面臺階儀、

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