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測量行程（mm）

250 x 150 x 200

300 x 200 x 200

400 x 300 x 200

外形尺寸（mm）

750 x 575 x 1650

805 x 635 x 1650

931 x 735 x 1650

重量（kg）

230

300

380

工作臺承重（kg）

30

30

30

運動控制

全閉環四軸自動控制

測量精度（μm）

X/Y軸

E2 = (1.5 + L/200)

Z軸

E1 = (3.0 + L/200)

**速度（mm/s）

X/Y軸

300

Z軸

200

光源控制

表面光

五環八區四十項程控式LED冷光源

輪廓光

程控式LED平行冷光源，256級可調

同軸光

可選配

放大倍率

光學放大0.7 ~ 4.5x，影像放大22 ~ 145x

影像系統CCD

高靈敏度高分辨率1/2” 黑白/彩色CCD

光柵尺

分辨率0.1μm Renishaw光柵尺

軟件

FRIMS專用測量軟件（FVA-S版）

工作環境

溫度

20±2℃

濕度

30% ~ 80%

振動

＜0.002g, 低于15Hz

電源

210V ~ 230V, 50Hz/60Hz