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鈮(鉭)酸鋰缺陷檢測設備

鈮(鉭)酸鋰缺陷檢測設備

直接聯系

合肥知常光電科技有限公司

安徽

產品規格型號
參考報價:

面議

品牌:

知常光電

型號:

鈮(鉭)酸鋰缺陷檢測設備

關注度:

253

產品介紹

產品介紹

鈮(鉭)酸鋰缺陷檢測設備(NOVA-2000-LN),是用于鈮酸鋰、鉭酸鋰等襯底晶圓的缺陷檢測設備,可兼容黑化、半黑化、全透明等不同工藝類型,可檢出顆粒物、劃痕、凹坑、凸起、崩邊、裂紋等缺陷,對晶圓的質量控制具有重要作用。

鈮(鉭)酸鋰缺陷檢測設備(NOVA-2000-LN)集成明場、暗場等多種檢測模式,對各類缺陷提供可靠的缺陷信息,結合缺陷自動檢測與分類算法,提取包括缺陷類型、尺寸、坐標、統計數據等在內的各頂缺陷數據,生成晶圓缺陷檢測報告,供用戶進行質量評估和判定。

鈮(鉭)酸鋰缺陷檢測設備
型號NOVA-2000-LN/LT
晶圓類型鈮(鉭)酸鋰拋光襯底,黑化、半黑化、全透明等
晶圓尺寸4寸、6寸、8寸

檢測方式

明場、暗場
產率≥20WPH(@6英寸晶圓,分辨率1μm)
≥12WPH(@8英寸晶圓,分辨率1μm)
自動化2 LoadPort


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