粉體行業在線展覽
鈮(鉭)酸鋰缺陷檢測設備
面議
知常光電
鈮(鉭)酸鋰缺陷檢測設備
253
產品介紹
鈮(鉭)酸鋰缺陷檢測設備(NOVA-2000-LN),是用于鈮酸鋰、鉭酸鋰等襯底晶圓的缺陷檢測設備,可兼容黑化、半黑化、全透明等不同工藝類型,可檢出顆粒物、劃痕、凹坑、凸起、崩邊、裂紋等缺陷,對晶圓的質量控制具有重要作用。
鈮(鉭)酸鋰缺陷檢測設備(NOVA-2000-LN)集成明場、暗場等多種檢測模式,對各類缺陷提供可靠的缺陷信息,結合缺陷自動檢測與分類算法,提取包括缺陷類型、尺寸、坐標、統計數據等在內的各頂缺陷數據,生成晶圓缺陷檢測報告,供用戶進行質量評估和判定。
鈮(鉭)酸鋰缺陷檢測設備 | |
型號 | NOVA-2000-LN/LT |
晶圓類型 | 鈮(鉭)酸鋰拋光襯底,黑化、半黑化、全透明等 |
晶圓尺寸 | 4寸、6寸、8寸 |
檢測方式 | 明場、暗場 |
產率 | ≥20WPH(@6英寸晶圓,分辨率1μm) |
≥12WPH(@8英寸晶圓,分辨率1μm) | |
自動化 | 2 LoadPort |
電腦組合體系VG42
UNI800C多物料配料控制儀
在線HPXRF檢測設備
PicoFemto掃描電鏡原位液體-電化學測量系統
金屬稱重檢測一體機
BSD-PB(氣液法)
片式電容四參數測試機
0~10%糖度
三路浮子流量計 MFC-3F
Oilwear 在線油液清潔度檢測儀
GJT-2F系列金屬探測儀