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Mars 4410半導體檢測設備

Mars 4410/Mars 4420

直接聯系

中電科風華信息裝備股份有限公司

山西

產品規格型號
參考報價:

面議

品牌:

中電科風華

型號:

Mars 4410/Mars 4420

關注度:

286

產品介紹

產品描述:應用于化合物半導體襯底片、外延片的全自動缺陷檢測,并可兼容藍寶石、LED的缺陷檢測。設備采用明場微分干涉相差、暗場散射、光致發光等多種檢測手段。具有多通道同步單次檢測,低噪聲和高分辨率成像、高檢測通量和高檢出率等優勢。

產品參數:

應用范圍:SiC、GaN等化合物半導體晶圓缺陷檢測

可測晶片尺寸:4,6,8英寸及其它非標尺寸


產品咨詢

Mars 4410半導體檢測設備

Mars 4410/Mars 4420

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