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Mars 4410半導體檢測設備

Mars 4410/Mars 4420

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中電科風華信息裝備股份有限公司

山西

產品規格型號

參考報價：

面議

品牌：

中電科風華

型號：

Mars 4410/Mars 4420

關注度：

產品介紹

產品描述：應用于化合物半導體襯底片、外延片的全自動缺陷檢測，并可兼容藍寶石、LED的缺陷檢測。設備采用明場微分干涉相差、暗場散射、光致發光等多種檢測手段。具有多通道同步單次檢測，低噪聲和高分辨率成像、高檢測通量和高檢出率等優勢。

產品參數：

應用范圍：SiC、GaN等化合物半導體晶圓缺陷檢測

可測晶片尺寸：4,6,8英寸及其它非標尺寸

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Mars 4410半導體檢測設備

Mars 4410/Mars 4420

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