粉體行業在線展覽
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P21H-系列質量流量控制器
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遼寧冠華半導體有限公司
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遼寧冠華
P21H-系列質量流量控制器
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P21H-系列(質量流量控制器/質量流量計)是專為需要高純度全金屬流道的半導體制程和其他高精尖氣體流量控制應用而設計的，開放式流道設計以及基于內部精確容積的在線自校準能力，為氣體質量流量的控制、測量提供了極高的準確度及可靠性。 超高精度，可達±0.05% F.S. 超快速響應<200ms 重復性對標行業**產品，可達 0.02%F.S. 接液材料采用316L VimVar+KM45+PCTFE，耐腐蝕性好可定制多種工作壓力、通訊模式、屏幕顯示、機械接口，適用于高精尖端工藝制程
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