粉體行業在線展覽
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P21R-系列質量流量控制器/流量計
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遼寧冠華半導體有限公司
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遼寧冠華
P21R-系列質量流量控制器/流量計
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P21R 系列(質量流量控制器/質量流量計)是高精度控制和測量氣體質量流量的產品，
采用層流壓差式技術原理，實現多氣體、多量程、高精度、快速響應的流量控制。
高精度±1%S.P./±0.2%F.S.
多量程，適用范圍 1sccm~200 SLM
多氣體，可支持 400 多種氣體
可定制通訊模式、屏幕顯示、機械接口
適用于各類高端工藝制程
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