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檢測和分析碳化硅外延表面缺陷

檢測和分析 Si℃ 外延中的表面缺陷和晶體缺陷

直接聯(lián)系

東莞市中科匯珠半導(dǎo)體有限公司

廣東

產(chǎn)品規(guī)格型號
參考報(bào)價(jià):

面議

品牌:

中科匯珠

型號:

檢測和分析 Si℃ 外延中的表面缺陷和晶體缺陷

關(guān)注度:

111

產(chǎn)品介紹

技術(shù)參數(shù):

1)微分干涉鏡頭:532 nm波段光源

2)暗場鏡頭:457nm波段光源

3)PL鏡頭:313波段光源

4)PLX鏡頭:355波段光源

5)自動聚焦測量范圍:+1.5mm

6)XYZ平臺:移動范圍550*400*5(XYZ),重復(fù)定位精度0.1um,測量精度:±0.5um

7)重復(fù)性:CV<5%

8)致命缺陷測試準(zhǔn)確性:>95%


產(chǎn)品咨詢

檢測和分析碳化硅外延表面缺陷

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