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SiC晶圓表面載流子濃度檢測

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東莞市中科匯珠半導體有限公司

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品牌：

中科匯珠

型號：

SiC晶圓表面載流子濃度檢測

關注度：

111

產品介紹

技術參數:

1)測試模式: MOS、Schottky

2)樣品尺寸:直徑≤200mm，非標樣品或者碎片*小測試尺寸30mmX30mm

3)外延層載流子濃度測試范圍:1E14-5E18cm-3

4)單點測試面積:0.018-0.027 cm2

5)汞接觸面積重復性:1sigma<0.5%

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SiC晶圓表面載流子濃度檢測

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