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Plasma-Therm工藝設備PECVD / HDPCVD / RIE / ICP / DSE

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新耕(上海)貿易有限公司

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產品介紹

Plasma-Therm是致力于PECVD/HDPCVD/RIE/ICP/DSE的世界知名設備提供商, 產品涵蓋2”~ 12”主流干法刻蝕/PECVD工藝,廣泛應用于半導體、MEMS、三五族(GaAs / SiC / CPV)、LED、SOI及半導體后段TSV領域

儀器簡介:

  • 2”~12” 手動 / 半自動 / 全自動(片盒對片盒)
  • 領域 : 半導體前后段 / MEMS / 三五族(GaAs / SiC / CPV) / LED / SOI / TSV
  • 制程 : PECVD / HDPCVD / RIE / ICP / DSE

特點:

  • Plasma-Therm公司有將近40年研發及制造干法刻蝕/PECVD設備的歷史
  • Plasma-Therm設備具有高穩定性與高可靠度
  • Plasma-Therm自有的軟硬件設計及完善QC系統
  • Plasma-Therm設備配置靈活,包含手動、半自動、全自動(片盒對片盒)型號滿足實驗室研發及量產客戶需求
  • Plasma-Therm設備在行業內高占有率:目前世界范圍內裝機數量超過1600臺
  • Plasma-Therm PECVD設備:具有**的uniformity(3%)和溫度控制技術
  • Plasma-Therm RIE / ICP設備:具有高刻蝕速率,低損傷, **的溫度均勻性控制(獨有的整個反應腔陶瓷加熱技術),方便的腔體清潔技術以及精準靈敏的刻蝕斷點監測技術
  • Plasma-Therm DES設備:應用于MEMS及TSV領域,主要用于高深寬比刻蝕, morphing技術確保側壁的profile的精確控制,快速氣體切換技術(**)確保刻蝕的側壁平滑,獨有的壓力控制技術(**),高靈敏的刻蝕斷點監測技術
  • Plasma-Therm連續15年被VLSI評為10 Best設備供應商
應用領域:

  • 半導體:
  • 三五族(GaAs / SiC / CPV)
  • MEMS / SOI
  • LED
  • 半導體后段及TSV

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