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產(chǎn)品名稱

VTC-100-SE基本型桌面式噴膠機

主要特點

1、可臺面式操作，外形尺寸緊湊

2、超聲波霧化或二流體霧化噴嘴可選

3、底盤旋轉(zhuǎn)加熱，XY電缸移動式噴膠

4、可處理**基片尺寸為8寸晶圓，向下兼容

技術(shù)參數(shù)

1、熱盤溫控范圍：室溫—150℃，溫度分辨率：0.1℃

2、溫度均勻性：小于±1％（工作范圍內(nèi)）

3、膠體流速范圍：1-20ml/min

4、電缸移動速度：1-200㎜/s

5、電缸定位精度：±0.02㎜

6、電缸有效行程：300×300㎜

7、超聲波霧化粒徑：小于50μm

產(chǎn)品規(guī)格

外形尺寸：928（W）×800（D）×510（H）㎜