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產品名稱

GPC-100A精確磨拋控制儀

產品型號

GPC-100A

主要特點

可嚴格控制被磨樣品表面的平行度和平面度，控制準確度高。研磨過程中可搭配數顯測厚儀使用，隨時觀測樣品磨削量，尤其適用于表面平行度和平面度及樣品厚度要求高的晶圓樣品研磨使用。

技術參數

1、載樣盤直徑：?103mm

2、載樣盤軸向行程：12mm

3、數顯表精度：0.001mm

4、載樣盤可調加載壓力：0.1kg-2.1kg

5、壓力確認儀有效量程：1g-5000g

6、樣品裝卡方式：真空吸附

7、承載樣件尺寸：直徑≤103mm、厚度≤12mm

產品規格

尺寸：外徑146mm，高266mm

標準配件

1、真空泵

2、過濾瓶

3、底座

4、玻璃片