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美國SVT公司CIGS銅銦鎵硒設(shè)備

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美國SVTA公司中國辦事處

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產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)

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產(chǎn)品介紹

美國SVT公司CIGS銅銦鎵硒系統(tǒng)

35-V-100是薄膜沉積精密設(shè)備，是適用于4英寸襯底的CIGS研發(fā)型設(shè)備

SVTA-CIGS-30是生產(chǎn)型系統(tǒng)

還可提供各種大容量生產(chǎn)型的S/Se源，包括點(diǎn)源（200CC-2000CC）和線性源（8000CC）

*多可放6個(gè)樣品

可靠地高溫襯底加熱器

多重泵抽組合包含Se trap

關(guān)于襯底操作還可以添加集群腔室，便于以后升級(jí)

*多容納10個(gè)源

先進(jìn)的在線監(jiān)控儀

產(chǎn)品咨詢

美國SVT公司CIGS銅銦鎵硒設(shè)備

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