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美國SVT公司超高真空解理機

SVT公司的樣品解理部件可以將15mm（其他尺寸可選）的方形樣品解理成15個1mm×15mm的Bar條。

所有解理出的bar條被收集到樣品托，堆疊在一起進行下一步批量加工。

獨特設計的解理工具避免了器件被破壞以及樣品互相黏在一起的可能性。

此解理工具可完全適用于UHV環(huán)境。

解理機可以增加鈍化層沉積模塊。

解理后堆疊在一起的Bar條直接進入鈍化室，不用暴露大氣。

規(guī)格在線bar條解理

加工15mm×15mm 樣品（10mm-32mm可選）

加工成15mm×1mm 樣品（1mm-5mm寬度可選）

8''法蘭接口

可烘烤至180^oC，（200^oC可選）

樣品可以兩種方向加工

UHV環(huán)境兼容

Cassette裝取