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MMR Hall Effect Measurement System

controlled continuously variable temperature

MMR可控連續變溫霍爾效應測試系統

1. 功能描述： 測量半導體薄膜中載流子類型、載流子濃度、遷移率、電阻率、霍爾系數等參數

2. 測試范圍： Si， SiGe， SiC， GaAs， InGaAs， InP， GaN (N Type & P Type)等材質的半導體薄膜中載流子類型、載流子濃度、 遷移率、電阻率、霍爾系數等參數。

3. 磁場強度：0.5T 電磁場，磁場強度可以定制選擇

4. 溫度區域: 70K ~730K； 80K ~580K； 80K ~730K； 300K ~730K

5. 電阻率范圍：10^-6~10¹³ Ohm*cm

6. 電阻范圍：10 m Ohms~ 10G Ohms

7. 載流子濃度：10²~10²²cm^-3

8. 遷移率: 10^-2~10⁹ cm²/volt*sec

儀器優點：

1. 采用van der Pauw法測試;

2. **可測25mmX25mm樣品，提供兩種樣品裝載方式：彈簧探針、引線治具，以及兩個杜瓦瓶：全封閉和帶玻璃窗口各一 個;

3. 配備電腦和相應的控制軟件，測試過程以及設備內各個單元均由軟件控制，永磁體需要手動翻轉樣品，電磁場測試過程全自 動。測試數據能夠方便的儲存和導出;

4. 模塊化設計，可升級到溫度范圍更廣、磁場更大的系統，也可升級成塞貝克測量系統;

5. 測試過程中，由于致冷或加熱所引起的樣品振動幅度在um量級或更優;

6. 在同一個樣品室下進行變溫霍爾效應的測試，**變溫范圍70K~730K。避免更換樣品室給測試帶來的不方便性和不連貫 性，其他品牌低溫和高溫需要在高溫和低溫兩個樣品室下測試

7.允許在一定氣體環境下測試

8.提供石英透明窗口，可以測試光激發下電阻率