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德國(guó)Phsytech深能級(jí)瞬態(tài)譜 DLTS

我們?cè)?span>1990年推出了首臺(tái)數(shù)字DLTS，隨著電腦技術(shù)的發(fā)展，使得在短時(shí)間內(nèi)進(jìn)行復(fù)雜計(jì)算成為可能。在純指數(shù)發(fā)射過程模型的基礎(chǔ)上，用各種數(shù)學(xué)模型分析測(cè)量到的瞬態(tài)過程，如傅里葉轉(zhuǎn)換、拉普拉斯轉(zhuǎn)換、多指數(shù)瞬態(tài)擬合、ITS（等溫瞬態(tài)光譜）信號(hào)重疊法、溫度掃描信號(hào)重疊法（重折疊）。與其他系統(tǒng)相比，HERA-DLTS具有無法比擬的能量分辨率。

特點(diǎn)

l自動(dòng)接觸檢查

l常規(guī)測(cè)試和加強(qiáng)軟件

l自動(dòng)電容補(bǔ)償

l三終端FET電流瞬態(tài)測(cè)量

l大電容和濃度范圍

l靈活性高、模塊化硬件

l支持各種冷卻倉和溫度控制器

l傅里葉轉(zhuǎn)換（F-DLTS），比例窗口和用戶自定義校正功能

lDLTFS（深層瞬態(tài)傅里葉光譜儀）評(píng)價(jià)

l直接測(cè)量發(fā)射瞬態(tài)

l使用28個(gè)不同的相關(guān)功能（軟件）通過一次溫度掃描，給出28個(gè)溫度掃描信號(hào)

操作模式

lC-DLTS(電容模式)

lCC-DLTS(定電容模式)

lI-DLTS（電流模式）

lDD-DLTS（雙關(guān)聯(lián)模式）

lZerbst-DLTS

lO-DLTS（光激發(fā)模式）

lFET-Analysis

lMOS-Analysis

lITS（等溫瞬態(tài)光譜儀）

l缺陷分析

l俘獲截面測(cè)量

lI/V， I/V(T)查理森Plot分析

lC/V， C/V(T)

lTSC/TSCAP

lPITS（光子誘導(dǎo)瞬態(tài)譜）

lDLOS(特殊系統(tǒng))