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濺射系統(tǒng)

樣品室大小

直徑120mm x 120mm 高

靶材

Au 靶為標配， Au:Pd， Pt， Pt:Pd （選件）;

規(guī)格：直徑57mm x 0.1mm厚

樣品臺

可以裝載12個SEM樣品座，高度可調(diào)范圍為60mm

濺射控制

微處理器控制，安全互鎖

濺射電流

微處理器控制，安全互鎖，可調(diào)，**電流40mA，程序化數(shù)字控制

濺射頭

低電壓平面磁控管，靶材更換快速，環(huán)繞暗區(qū)護罩

計量表

真空： Atm - 0.001mbar，電流：0~50mA

厚度監(jiān)控 (選件)

使用高分辨厚度監(jiān)控儀（選件）精確測定所鍍膜的厚度

控制方法

具有氣體換氣和泄氣功能，帶有“暫停”控制的數(shù)字定時器（5－300s）

真空系統(tǒng)

真空泵

2級直連式高速真空泵

抽氣速率

100L/MIN

極限真空

≤1 x 10^-3Torr

噪音

50dB