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ATC ORION系列 磁控濺射系統
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重慶眺望
ATC ORION系列 磁控濺射系統
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AJA Intemational的ATC Orion系列磁控濺射系統是ATC Flagship旗艦系列下的一款高性價比的緊湊型物理氣相沉積設備。Orion系列的高真空和超高壓真空濺射系統都沿用了許多ATC濺射系統的成熟設計和通用配件。標準的ATC Oron部件(腔體,框架,集群法蘭等)一股都有現貨,因此我們能夠有效縮短設備交貨時間。Orion 8有一款特殊設計的系統,可以集成4個2"磁控濺射靶源,可原位偏轉。ATC Orion系列濺射系統可以輕易相互連接或是連接其他ATC系統,集成多腔(如,金屬氧化物)或多功能混合系統(如,濺射/蒸發/PLD/離子束刻蝕)。