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MDpicts微波探測光誘導電流瞬態譜儀

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弗萊貝格儀器(上海)有限公司

德國

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MDpicts微波探測光誘導電流瞬態譜儀

靈敏度:對半導體材料電學缺陷有**靈敏度

溫度范圍:液氮(77k)至500k。可選:液氦(4k)或更高溫度

衰減常數范圍:20納秒到幾毫秒

沾污檢測:電學陷阱基本性能確定:激活能和陷阱的俘獲截面,受溫度和注入水平影響的少子壽命參數等

重復性:> 99.5%,測量時間:< 60分鐘。液氮消耗:2升/次

靈活性:從365 nm 到1480nm,根據不同材料選擇不同波長激發光源

可訪問性:基于IP的系統允許來自世界任何地方的遠程操作和技術支持

圖1. 與溫度有關的載流子發射瞬態

圖2.不同缺陷的評價 圖3.Arrhenius曲線圖

從Arrhenius斜率(圖3)可以確定活化能。利用這種新型MDPpicts設備,可在20~500k范圍內測量溫度依賴性的瞬態光電導。Si, GaAs, InP, SiC和其他很多半導體材料已成功采用了這種方法進行研究。

圖4. 不同溫度的Cz-Si晶圓片的MD-PICTS圖譜

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MDpicts微波探測光誘導電流瞬態譜儀

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