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XRD系列晶向定位

XRD-晶向定位

直接聯(lián)系

馬爾文帕納科

荷蘭

產(chǎn)品規(guī)格型號
參考報價:

面議

品牌:

馬爾文帕納科

型號:

XRD-晶向定位

關注度:

2606

樣本:

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產(chǎn)品介紹

XRD 系列

晶圓和鑄錠快速準確的晶向定位


從全自動的在線分析到晶圓材料的快速質量檢查,我們的晶向定位解決方案在

設計時考慮到了晶棒、鑄錠、切片和晶圓的全部應用場景。此系列產(chǎn)品利用

XRD分析技術在晶圓生產(chǎn)的全部流程中,提供簡單、快速、高精度的晶體定

向測量,大大提高產(chǎn)品良率。


Omega-Theta_closed mp branded crystal orientation range freiberg.jpg

Omega/Theta(XRD)                           

用于超快晶體定向的全自動垂直三軸XRD    


  • 10秒內完成定向                                    

  • 定向精度:0.003°

  • 定向轉移技術:多鑄錠取向測定,實現(xiàn)高效切割

  • 晶錠端面及定位邊定向和轉移夾具可選

  • 光學測量工具可選,可測樣品直徑、平邊/V 槽位置、形狀、長度、深度

  • 適應不同樣品的精密樣品轉盤、mapping臺和工裝夾具

  • 搖擺曲線測量


F2000_DDCOM_3_02_closed-MP-branding crystal orientation range freiberg.jpg

DDCOM(XRD)

緊湊型超快晶體自動定向儀

  • 10秒內完成定向

  • 定向精度:0.01°

  • 兩個閃爍探測器

  • 專為方位角設置和晶向標記而設計

  • 可測直徑為 8 mm 至**225 mm的晶圓和晶錠

  • 無需水冷

F4000_SDCOM_MP_branded-crystal orientation range freiberg.jpg

SDCOM(XRD)

用戶友好的緊湊型多功能XRD

  • 超快測量,10秒內返回結果

  • 定向精度:0.01°

  • 定向轉移技術:多鑄錠取向測定,實現(xiàn)高效切割

  • 光學測量工具可選,可測樣品直徑、平邊/V 槽位置、形狀、長度、深度

  • 樣品直徑1-200mm

  • 無需水冷



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XRD-OEM

在線晶體定向測定

  • 標準工業(yè)接口,可集成到任何自動化或加工系統(tǒng)中

  • 線切/研磨前對大型晶錠進行全自動在線定向

  • 可內置于磨床和切割機等惡劣環(huán)境中使用

  • 平邊/V槽的光學測量功能,如位置、形狀、長度、深度等


Wafer XRD 200 / 300



F8000-Wafer-XRD-200 mp branded crystal orientation range freiberg.jpg

Wafer XRD 200

無縫融入生產(chǎn)線的全自動高速XRD

  • 用于3-8英寸晶圓片

  • 定向精度:0.003°

  • 產(chǎn)能:100萬片/年

  • 幾秒鐘內提供各種基本參數(shù)的關鍵數(shù)據(jù),如晶體取向和電阻率、幾何特征(如 V 槽和平槽)、距離測量等

  • 全自動處理和揀選晶圓片


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Wafer XRD 300

用于300mm晶圓生產(chǎn)的高速XRD

  • 超快速提供12英寸晶圓的晶體取向和幾何特征等

  • 定向精度:0.003°

  • 幾秒鐘內提供各種基本參數(shù)的關鍵數(shù)據(jù),如晶體取向和電阻率、幾何特征(如 V 槽和平槽)、距離測量等


附加功能

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          晶圓面掃                          鑄錠堆垛 

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        自動化晶圓揀選                 小樣品夾具


產(chǎn)品咨詢

XRD系列晶向定位

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