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SSX600系列光刻機

SSX600系列光刻機

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上海微電子裝備（集團）股份有限公司

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SSX600系列光刻機

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SSX600系列步進掃描投影光刻機采用四倍縮小倍率的投影物鏡、工藝自適應調焦調平技術，以及高速高精的自減振六自由度工件臺掩模臺技術，可滿足IC前道制造90nm、110nm、280nm關鍵層和非關鍵層的光刻工藝需求，可用于8寸產線或12寸產線。

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