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美國OAI成立至今已有35年歷史，在光源制造和測量方面一直處于****領域。

OAI光源以工作穩(wěn)定，出光效率高，高均勻性和散射角小著稱。且可提供20inch以上的大面積光源。 OAI光功率計在工業(yè)上有廣泛應用，包括NIKON，CANON，ASM等知名光刻機制造商均使用OAI光功率計。

OAI也生產(chǎn)光刻機，尤其是OAI MODEL 800系列雙面曝光機，在世界范圍內(nèi)有著非常廣泛的應用。

OAI MODEL 800MBA

雙面對準曝光機

曝光模式 接近、軟/硬接觸、真空接觸

掩膜尺寸**9"x9"

**適合200mm晶圓曝光