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遠(yuǎn)程微波等離子體系統(tǒng)RPS

微波等離子模塊-遠(yuǎn)程微波等離子體系統(tǒng)RPS

直接聯(lián)系

成都奮羽電子科技有限公司

四川

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)

參考報(bào)價(jià)：

面議

品牌：

奮羽電子

型號(hào)：

微波等離子模塊-遠(yuǎn)程微波等離子體系統(tǒng)RPS

關(guān)注度：

1052

產(chǎn)品介紹

遠(yuǎn)程微波等離子體系統(tǒng)由微波源，等離子腔，自動(dòng)調(diào)配器，環(huán)形器和導(dǎo)軌組成，有固態(tài)微波源和磁控管電源兩種版本可選，是等離子清洗設(shè)備、蝕刻設(shè)備、去膠設(shè)備和鍍膜設(shè)備的核心部件，搭載在等離子表面處理設(shè)備上通過(guò)把電能轉(zhuǎn)化為微波能將輸入氣體（Ar、O2、H2、CF4等）激發(fā)成物質(zhì)的第四種狀態(tài)-等離子狀態(tài)從而對(duì)目標(biāo)物質(zhì)的表面進(jìn)行污染物和氧化物清洗去膠蝕刻等處理，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造前后道工藝中對(duì)晶圓表面的處理，高價(jià)值無(wú)機(jī)材料金屬材料等的表面清潔。

項(xiàng)目	固態(tài)源版本	磁控管版本
輸出功率	3kW	3kW
輸出頻率	2450MHz±25MHz	2450MHz±25MHz
頻率誤差	±50ppm	2%-3%
微波泄露	≤2mW/cm2	≤2mW/cm2
供電電壓	AC380V±10%	AC380V±10%
供電頻率	50Hz±2Hz	50Hz±2Hz
進(jìn)/出水口	1/8寶塔接頭	DN15
冷卻方式	水冷（Φ10快插接頭，水流量≥2.5L/min，進(jìn)水溫度小于環(huán)境溫度時(shí)，兩者溫度差≤10°C）	水冷（Φ10快插接頭，水流量≥2.5L/min，進(jìn)水溫度小于環(huán)境溫度時(shí)，兩者溫度差≤10°C）
控制接口	RS485通信協(xié)議	具備本地觸摸屏控制及遠(yuǎn)程通訊功能，MODBUS RTU 標(biāo)準(zhǔn)通訊協(xié)議，9600,N,8,1
工藝氣體	Ar、O2、H2、CF4等（CF4需配耐刻蝕材料）	Ar、O2、H2、CF4等（CF4需配耐刻蝕材料）

產(chǎn)品咨詢(xún)

遠(yuǎn)程微波等離子體系統(tǒng)RPS

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