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全自動(dòng)碳化硅激光垂直剝離產(chǎn)線

直接聯(lián)系

北京晶飛半導(dǎo)體科技有限公司

北京

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品牌：

北京晶飛

型號(hào)：

全自動(dòng)碳化硅激光垂直剝離產(chǎn)線

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產(chǎn)品介紹

全自動(dòng)激光垂直剝離碳化硅產(chǎn)線是用于第三代半導(dǎo)體材料(碳化硅)晶錠切割、剝離、研磨、循環(huán)加工的設(shè)備線，可對(duì)6/8/寸SiC晶錠實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)循環(huán)加工分片。

加工工藝

激光垂直剝離碳化硅設(shè)備采用的加工工藝是使用激光剝離取代傳統(tǒng)的線切割模式

加工效果


剝離后6英寸半絕緣晶錠與晶圓	垂直剝離后8英寸導(dǎo)電型晶錠與晶圓

技術(shù)規(guī)格

產(chǎn)品咨詢

全自動(dòng)碳化硅激光垂直剝離產(chǎn)線

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