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MX-SSG 半導體晶圓研拋一體設備

MX-SSG 半導體晶圓研拋一體設備

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蘇州邁為科技股份有限公司

江蘇

產品規格型號
參考報價:

面議

品牌:

蘇州邁為

型號:

MX-SSG 半導體晶圓研拋一體設備

關注度:

558

產品介紹

該設備用于8英寸、12英寸半導體晶圓減薄、拋光工藝。

基本信息

  • 1. 適用產品:8/12inch 硅基晶圓減薄、拋光

  • 2. 可對應*薄產品:≥50μm(DBG工藝:≥25μm)

  • 3. 研磨速度:0.01μm/s~80μm/s

  • 4. 適用物料厚度:≤1.8mm

  • 5. 加工品質:TTV≤2.5μm,WTW 士2.5μm,Ra≤0.005μm


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