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· 概況原理

渦旋真空泵主要由固定渦旋盤與驅動渦旋盤構成。驅動渦旋盤在固定渦旋盤中轉動，產生一個旋轉輸送動作，將氣體從渦旋盤外緣吸入，然后將其在兩個渦旋盤間壓縮并輸送至渦旋盤中央。

該工作原理無需任何潤滑，實現了完全干式壓縮。由于軸承與壓縮腔室分離，抽送的氣體能夠保持清潔，不會被軸承潤滑脂污染。另外，其緊湊的設計 (≤ 1x10-6 mbar L/s) 能夠防止抽送的氣體被外界空氣污染。日常的維護僅限于更換渦旋盤端面密封條。操作人員無需任何專用工具，在幾分鐘內便可完成更換。

· 主要特點

1. 抽速范圍廣，從1 L/s到16 L/s；

2. 極限真空度達到1 Pa；

3. 全無油，不返油，低能耗

4. 體積小、重量輕

· 主要用途

1. 分析測試儀器/能譜儀/掃描電鏡

2. 真空鍍膜（PVD/CVD/LPD等）

3. LED/LCD/激光管抽真空與封裝

4. 電子束焊接/激光焊接

5. 真空爐/單晶爐/烘箱

6. 手套箱/排氣臺

7. 預處理室/樣品傳輸室抽真空

8. He質譜檢漏

9. 空間環境模擬

10. 分子泵前級

11.冷凝泵再生