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復合分子泵用途：

復合分子泵由渦旋分子泵和盤式牽引泵組合而成，它同時具有渦輪分子泵分子流時抽速大、壓縮比高，牽引泵高壓強時抽速大、壓縮比高的特點，擴展了分子泵的應用范圍。復合分子泵對被抽氣體無選擇性、無記憶效應，由于對分子量大的氣體有很高的壓縮比，因此該泵不需要冷阱和油擋板可獲得清潔的高真空。其應用于光伏、照明、宇航、半導體、能源、**、激光、家電、材料、汽車等真空技術的各個領域。