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分子束外延薄膜生長設備(MBE)

分子束外延薄膜生長設備(MBE)

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鵬城半導體技術(深圳)有限公司

廣東

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參考報價:

面議

品牌:

鵬城半導體

型號:

分子束外延薄膜生長設備(MBE)

關注度:

1432

產品介紹

分子束外延薄膜生長設備(MBE)(分子束外延MBE)該設備可以在某些襯底上實現外延生長工藝,實現分子自組裝、超晶格、量子阱、一維納米線等??梢赃M行第二代半導體和第三代半導體的工藝驗證和外延片的生長制造。

分子束外延薄膜生長設備在薄膜外延生長時具有超高的真空環境,是在理想的環境下進行薄膜外延生長,它可以排除在薄膜生長時的各種干擾因素,得到理想的高精度薄膜。
我公司設計制造的分子束外延薄膜生長實驗設備,分實驗型和生產型兩種 ,配置合理,結構簡單,操作方便,技術先進,性能可靠,用途多,實用性強,價格相對較低,可供各大學的實驗室及科研機構作為分子束外延方面的教學實驗、科學研究及工藝實驗之用。生產型MBE可用于小批量外延片的制備。


功能特點

本項目于2005年在國內率先完成了成套MBE的全國產化研發設計和制造,做到自主可控。自主設計MBE超高真空外延生長室、工藝控制系統與軟件、RHEED原位實時在線監控儀、直線型電子槍、高溫束源爐、束源爐電源、高溫樣品臺、膜厚儀(可計量外延生長的分子層數)等核心部件。


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分子束外延薄膜生長設備(MBE)

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