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Park NX-Hybrid WLI

全自動工業 WLI-AFM 系統

Park NX Hybrid    WLI是有史以來**款具有內置WLI輪廓儀的AFM，用于半導體和相關制造質量保證。例如半導體前端、后端到高級封裝的過程控制，以及研發計量。它適用于那些需要在大面積上進行高吞吐量測量的設備，這些設備可以縮小到具有亞納米分辨率和超高精度的納米級區域。  

半導體計量的兩種**互補技術。

• WLI:      白光干涉測量是一種光學技術，它可以對非常寬的區域進行成像，速度非常快，滿足高吞吐量測量。

• AFM:      原子力顯微鏡是一種掃描探針技術，即使對透明材料也能提供*精確的納米級分辨率測量。