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AFM-SEM 同步聯用技術（通用版）

產品簡介

革命性的原子力顯微鏡（AFM），可實現與掃描電子顯微鏡（SEM）的無縫集成，為原位關聯顯微鏡開辟新可能。

憑借優化設計，LiteScope AFM 兼容賽默飛世爾、TESCAN、蔡司、日立、JEOL 等主流品牌 SEM 系統及其配件，其他品牌電鏡亦可定制適配。

測量模式：

• 機械性能：AFM，能量耗散，相位成像

• 電性能：C-AFM、KPFM、EFM、STM

• 磁性能：MFM

• 電機械性：PFM

• 光譜學：F-z

 曲線，I-V 曲線

• 相關性分析：CPEM

AFM-SEM 同步聯用技術（通用版）

實用特點

• 原位樣品表征

在 SEM 內部的原位條件下確保樣品分析同時、同地、同條件下進行，并且在飛納電鏡內部也能實現原子級分辨率

• 精確定位感興趣區域

  SEM 與 AFM 原位聯用，保證了同一時間、同一地點和相同條件下的分析 使用 SEM 畫面，實時觀測探針與樣品的相對位置，為探針提供導航，精準定位

• 實現復雜的樣品分析需求

  提供電氣、磁學、光譜等多種測量模式，且能同一位置直接聯用 SEM 及 EDS 功能。同時獲取 AFM 與 SEM 數據，并將其無縫關聯

應用案例

鋼和合金的復合分析

利用原子力顯微鏡對雙相鋼進行復合分析，揭示了表面形貌（AFM）、鐵 氧體晶粒的磁疇結構（MFM）、晶粒相比（SEM）和表面電位雜質開爾文 探針力顯微分析法。 • 相關多模態分析揭示了復雜的性質 • 掃描電鏡精確定位 ROI，AFM 綜合分析

電池的原位表征

固態電池（SSB）比鋰離子電池顯示出更高的能量密度、更長的壽命和更 好的安全性。由鋰鎳錳鈷氧化物（NMC）顆粒組成的正極膠帶在手套箱中 經過 200 個周期后被打開，原位切割并使用 AFM-in-SEM 測量。

 樣品提供： Aleksandr Kondrakov, BELLA (DEU)

• 在 CAM 橫截面處對局部電導率（C-AFM）進行表征

• 無需空氣暴露即可原位制備敏感 CAM

納米線的先進表征

懸掛蜘蛛絲納米線因其獨特的機械性能而被研究，通過超精確定位AFM 尖端在懸掛的納米線上。力-距離光譜學使得確定納米線的彈性和塑性 變形成為可能。

樣品提供： Linnea Gustafsson, KTH (SWE)。

• SEM： 精確定位 AFM 尖端和納米線變形的實時觀察

• 分析屬性如楊氏模量和抗拉強度

選配件

納米壓痕模塊

納米壓痕模塊能夠在使用超高倍數掃描電子顯微鏡觀察樣品的同時進 行微機械實驗，并利用 LiteScope 以亞納米級分辨率對壓痕樣品進行 分析

NenoCase 與數碼相機

在環境條件或不同氣氛下將 LiteScope 作為獨立 AFM 使用，通過數碼 相機精確導航探針。

樣品旋轉模塊

適用于 FIB 后進行 AFM 分析。此外還允許同時安裝多個樣品實現在不 打開 SEM 腔室的情況下即可對多個樣品進行測試。