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人造金剛石
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東莞市中微力合半導體科技有限公司
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中微力合
人造金剛石
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按照金剛石的種類區分:
人造金剛石大致可以分為單晶金剛石、聚晶金剛石和納米金剛石，因此金剛石研磨液也可以分為單晶金剛石研磨液、聚晶金剛石研磨液和納米金剛石研磨液。
按照分散介質區分:
廣泛使用的金剛石研磨液的分散介質有以下三種：水性分散介質、油性分散介質和通用型介質（乳液型介質）。使用時應當根據具體的使用條件來選擇合適的研磨液。
配合蜂窩墊使用，應用于碳化硅晶圓、藍寶石、氧化鋯、氧化鋁、氮化鋁陶瓷基板等硬脆材料超表面精細研磨。
磨料類型多樣化，可根據加工材料工藝要求選擇合適粒度規格；
載體類型選擇多，包含水性、油性及乳化型；
不同應用環境下粘度可調整，包含低粘度、中等粘度和高粘度；
材料去除率
金剛石液D50碳化硅
晶圓藍寶石
C向氧化鋯
陶瓷氧化鋁
陶瓷氮化鋁
陶瓷氧化硅 ZW-301(3μm) 2 2.5 3.5 4 3 3 ZW-302(2μm) 1.5 1.6 3 3 2.5 2.3 ZW-303(1.5μm) 1 1.2 2 2.5 2 1.5 ZW-401(1μm) 0.8 1 1.2 ZW-501(0.5μm) 0.4 0.5 0.8 ZW-601(0.2μm) 0.2 0.3 ZW-40 2.5
