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金剛石研磨墊

金剛石研磨墊

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東莞市中微力合半導體科技有限公司

廣東

產品規格型號
參考報價:

面議

品牌:

中微力合

型號:

金剛石研磨墊

關注度:

71

產品介紹

產品概述

金剛石研磨墊是利用金剛石微粉與樹脂復合而成的,具有超高的磨削效率和磨削精度,且使用壽命長。

典型工藝:金剛石盤粗磨–金剛石盤中磨–減薄墊超精細研磨–拋光墊拋光成型。

尺寸:直徑50-3000mm

粒度(50D):50μm/30μm/20μm/9μm/4μm;

應用領域

主要用于芯片(單晶硅、藍寶石LED襯底、第三代半導體單晶碳化硅)、陶瓷片、手機玻璃面板等超精細研磨拋光工序。

產品特點

  • 材料去除率極高。

  • 無需使用游離磨料、降低加工耗材成本,只需加水,更加環保。

  • 無需更換生產設備。

  • 可雙面研磨,保證工件平面度。

  • 固結磨料硬度適中,修盤速度快。

產品規格及驗證參數

設備:9B雙面研磨機(直徑:640mm,內徑:235mm) 壓力:238KG;

轉速:40RPM; 液流量/助磨液:15ml/min; 切削液:30ml/min;

材料去除率
研磨墊型號
藍寶石
C向
氧化鋯
陶瓷
氧化鋁
陶瓷
氮化鋁
陶瓷
玻璃氧化氧化硅硅
50 μm401045301503
30 μm205302080
20 μm152201550
9 μm10


30
4 μm5


20
不同型號磨液對應不同加工材料去除率;單位:μm/min (數據來源:中微實驗室)


產品咨詢

金剛石研磨墊

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