粉體行業(yè)在線展覽
6英寸半導(dǎo)體級單晶爐
面議
上海漢虹
6英寸半導(dǎo)體級單晶爐
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拉晶過程全程自動化
在惰性氣體環(huán)境中,用石墨加熱器將硅材料熔化,
用直拉法生長無位錯單晶的設(shè)備。
性能優(yōu)勢
設(shè)備主體結(jié)構(gòu)優(yōu)化,提高了整機(jī)穩(wěn)定性。
具有拉制12英寸COP FREE半導(dǎo)體單晶硅棒的功能。
采用新型隔離閥。
液面高度監(jiān)控系統(tǒng)。
高精度傳動機(jī)構(gòu)。
雙層水冷套、可升降雙層水冷屏。
8 inch
HDL/HDP-22B
退火爐
PVT碳化硅長晶爐
LPE碳化硅長晶爐
FT-SRS1200
貫穿式烘干機(jī)
硅部件級單晶爐
12英寸半導(dǎo)體級單晶爐
8英寸半導(dǎo)體級單晶爐
6英寸半導(dǎo)體級單晶爐
RLY 系列
HTRH,HTRV
管式爐
略
馳順TF-1200型旋轉(zhuǎn)管式爐
RTO蓄熱式焚燒爐
RLY系列燃油熱風(fēng)爐
OTL1200、KTL1400、KTL1600、KTL1700
OTF-1200X-25-60
略
ZHK-B02123K-200
YCVD-1706