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采用感應/電阻式加熱方式，在不銹鋼腔體內以液相法生長SiC晶體，并可兼容物理氣相法(PVT)。

可提供半定制化服務

6 ~ 8英寸 碳化硅長晶爐 (感應式/電阻式） 

晶體尺寸 6 ~ 8英寸 

工藝 LPE 

加熱方式 感應式/電阻式 

基本參數 主機尺寸 W1450 x D1450 x H3900mm 

整機重量 約2.2T 

支持系統 電     源 容    量 50kVA（感應式）/ 280kVA（電阻式） 

電    壓 380VAC±10% ,  3P,  50/60Hz 

冷 卻 水 壓    力 0.3 ~ 0.5MPa 

流    量 ＞200L/min 

工藝氣體 壓    力 ＞0.2MPa 

壓縮空氣 壓    力 0.5~1.0MPa