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使用金剛線或游離砂漿切割半導(dǎo)體碳化硅、藍(lán)寶石等硬晶體的搖擺型切片專用設(shè)備。

性能優(yōu)勢

加工直徑兼容6英寸、8英寸，實(shí)現(xiàn)一機(jī)多用；

裝載量**450mm，實(shí)現(xiàn)多錠同時(shí)切割；

**線速度可達(dá)2100m/min，處于行業(yè)**水平；

進(jìn)給機(jī)構(gòu)可實(shí)現(xiàn)高精度超低速進(jìn)給，且可進(jìn)行高低速切換；

主軸、繞線輪軸采用循環(huán)水冷方式，確保高速、長時(shí)間穩(wěn)定可靠運(yùn)行，軸承壽命長，使用成本低；

所有動(dòng)力驅(qū)動(dòng)采用高精度伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)，控制光纖通信，響應(yīng)速度快，并采用圓弧同步帶高精度平穩(wěn)傳動(dòng)，運(yùn)行可靠；

通過模塊化切換，可兼容砂漿、金剛線切割。

碳化硅多線切片機(jī) 

設(shè)備尺寸 W2125 x D3985 x H3015mm 

設(shè)備重量 約11000kg 

加工能力 直徑（或?qū)蔷€尺寸） 6英寸、8英寸 

厚度 Max.450mm 

支持系統(tǒng) 電源容量 Max. 150KVA 

電源電壓 AC380V, 3P 

壓縮空氣（供給壓力） 0.6 MPa以上 

主軸 主電機(jī) 25kW servo motor (main motor) 

主軸箱尺寸 φ255mm(主軸外徑) 

晶托 尺寸 L460mm x W133 x H47mm