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主要特點

◆產能:>25000pcs/h;4800~5280pcs/管(105*210mm)

◆管數:6管

◆壓力控制:APC控制方式

◆系統控制:PLC和PC工控機

◆通訊:Melsec,MES.I/O,SECS-II等

◆自動化集成:用于客戶優化和MES控制集成的全自動化解決方案

工藝規范

◆方阻值:30~60Ω/cmsq

◆極限真空:≤20mbar

◆方阻均勻性:<5%(片內/片間/批間)

硬件規格

◆恒溫區長度:2800mm

◆溫區數量:6個溫區

◆**溫度:950℃

◆溫度均勻性:800℃~950℃±0.5℃

◆晶圓裝載法:碳化硅懸臂槳

◆槳的**承重量:100kg

◆工藝腔和舟的材質:石英管&碳化硅舟托獨立磷源柜，便于更換源瓶

優點

◆快速的工藝認證，可以極高的提升生產

◆工藝過程中APC良好的控制工藝管壓力

◆使用SiC槳使加載區穩定，SiC舟托使用壽命更長

◆更大的正常運行時間和更低的成本，良好的技術支持和服務，確保設備長期穩定使用