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1

操作方式

根據客戶操作可定左/右手操作

2

管路數

1-4管

3

加工晶圓尺寸

4-8寸

4

適用工藝

擴散（鎵擴）、玻璃鈍化（GPP）、退火、合金

5

溫度校準功能

具有自動校準溫區功能，具有預先寫入偏差值快速拉溫區功能（選配）

6

控溫模式

Spike控溫+Profile串級控溫

7

控制系統結構

一體工控機+PLC

8

系統極限真空度

＜10Pa 

9

工作壓力范圍

100Pa-10Pa可調

10

報警保護

具有超溫報警，斷偶報警，氣體互鎖，氣體緩啟動等功能