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NextScan飛秒激光多面掃描鏡

直接聯(lián)系

聚擘國(guó)際貿(mào)易（上海）有限公司

比利時(shí)

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)

參考報(bào)價(jià)：

面議

關(guān)注度：

1053

產(chǎn)品介紹

多面掃描鏡(Polygonal Scanners)，可實(shí)現(xiàn)大范圍、高精度、超高速、高重復(fù)性的激光光束掃描。相比振鏡掃描，多面掃描鏡具有更快的掃描速度且具有更高的損傷閾值。

多面掃描鏡(Polygonal Scanners)系統(tǒng)：提供不同掃描寬度，不同工作波長(zhǎng)和聚焦光斑尺寸，可滿足您對(duì)再現(xiàn)性和準(zhǔn)確性的要求。

集成的遠(yuǎn)心平面鏡片實(shí)現(xiàn)了緊湊型一體化即用型的掃描頭，可以實(shí)現(xiàn)高性能及高效率的微加工要求。

備有通用型的控制器，易集成于線性平臺(tái)和卷式行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)中。系統(tǒng)接口可以兼容傳統(tǒng)激光和脈沖激光。另外，模塊化的設(shè)計(jì)可以按照客戶需求進(jìn)行快速定制。

所有掃描頭都配備通用接口，控制器通過以太網(wǎng)控制。能多面掃描鏡系統(tǒng)

High Performance Polygon Scanner Systems

規(guī)格參數(shù)：

Optical specifications光學(xué)規(guī)格	Standard標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格
Scan width掃描寬度	300 mm		170 mm
Wavelength波長(zhǎng)(nm)	355-375	515-532		1030-1070
Minimum Spot小光斑尺寸(FWHM)1*	9 μm	13 μm		26 μm
Minimum Spot小光斑尺寸(1/e2 dia)*	15 μm	22 μm		44 μm
Input beam diameter(1/e2 dia) 輸入光斑直徑(1/e2 dia)	11 mm		6 mm
Input clear aperture輸入數(shù)值孔徑	19 mm		10 mm
Position Accuracy定位精度	± 10 μm or ±1 μm 2
Line straightness線平直度	15 μm or 1 μm 2
Spot repeatability光斑重復(fù)性	< 3 μm 3
System specifications系統(tǒng)規(guī)格
Input beam輸入光斑	Parallel beam
Scan speed掃描速度	56 – 224 lines per second		100 – 400 lines per second
Moving spot speed光斑移動(dòng)速度	25 – 100 meters per second
Scanner mechanical efficiency 掃描頭機(jī)械效率效率	71 %
Optical efficiency光學(xué)效率	> 85 % GR/IR
Average Laser power 1平均激光功率	140 W (>7 ps) 50W (200 fs)
Minimum pulse width*小脈沖寬度	> 200 fs
Maximum pulse energy*小脈沖能量	150 μJ (ps) 50 μJ (fs)
Mechanical interface機(jī)械接口	Industry standard interface
Scanner to substrate clearance 掃描頭到基板距離	26.5 mm		18 mm
Power consumption功率	125 W max.
Electrical supply電源	Mono + earth 50/60 Hz， 100-240 VAC
PC Connection電腦鏈接	Ethernet TCP/IP protocol and USB3
Cable Length連線長(zhǎng)度	Max. 5 meter between scanner unit and control electronics

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