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面議
753
EM13LD 系列是采用先進(jìn)的測(cè)量技術(shù),針對(duì)普通精度需求的研發(fā)和質(zhì)量控制領(lǐng)域推出的多入射角激光橢偏儀。
項(xiàng)目 | 技術(shù)指標(biāo) |
儀器型號(hào) | EM13 LD/635 (或其它選定波長) |
激光波長 | 635 nm (或其它選定波長,高穩(wěn)定半導(dǎo)體激光器) |
膜厚測(cè)量重復(fù)性(1) | 0.5nm (對(duì)于平面Si基底上100nm的SiO2膜層) |
折射率測(cè)量重復(fù)性(1) | 5x10-3 (對(duì)于平面Si基底上100nm的SiO2膜層) |
單次測(cè)量時(shí)間 | 與測(cè)量設(shè)置相關(guān),典型3s |
**的膜層范圍 | 透明薄膜可達(dá)1000nm 吸收薄膜則與材料性質(zhì)相關(guān) |
光學(xué)結(jié)構(gòu) | PSCA(Δ在0°或180°附近時(shí)也具有極高的準(zhǔn)確度) |
激光光束直徑 | 2mm |
入射角度 | 40°-90°可手動(dòng)調(diào)節(jié),步進(jìn)5° |
樣品方位調(diào)整 | Z軸高度調(diào)節(jié):±6.5mm 二維俯仰調(diào)節(jié):±4° 樣品對(duì)準(zhǔn):光學(xué)自準(zhǔn)直和顯微對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng) |
樣品臺(tái)尺寸 | 平面樣品直徑可達(dá)Φ170mm |
**外形尺寸 | 887 x 332 x 552mm (入射角為90º時(shí)) |
儀器重量(凈重) | 25Kg |
選配件 | 水平XY軸調(diào)節(jié)平移臺(tái),真空吸附泵 |
軟件(ETEM) | * 中英文界面可選 * 多個(gè)預(yù)設(shè)項(xiàng)目供快捷操作使用 * 單角度測(cè)量/多角度測(cè)量操作和數(shù)據(jù)擬合 * 方便的數(shù)據(jù)顯示、編輯和輸出 * 豐富的模型和材料數(shù)據(jù)庫支持 |
TH-F120
BL-GHX-VK
線性壓電納米位移臺(tái)MF40-25A
ParticleX TC
觀世
在線濁度計(jì)
SuperSEM N10
SLS-LED-80B
SCI300
SJ6000
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